醫用低溫真空干燥柜是利用降低環境空氣壓力，讓水在低溫時就開始沸騰變成水蒸氣，從而將水從器械上分離出來。

　　參數一：真空度

　　由原理得知，實現干燥主要的是真空度。在常溫下，器械在純化水清洗后，表面滯留的純化水溫度一般也有20攝氏度，對照前表，在不加熱的情況下，氣壓在-96kpa時，水就可以沸騰揮發了，所以醫用低溫真空干燥柜主要的參數是工作倉的真空度，真空度越高，干燥效果越好，所以，追求較高的真空度是干燥柜干燥效果好壞的主要指標。

　　參數二：溫度

　　液體在揮發的時候會帶走剩余未揮發液體的部分熱量，所以需要對剩余液體溫度進行補償，另一方面，提高液體的溫度后液體蒸發時的真空度也相對降低，更利于液體蒸發，因液體吸熱有延時，即使精確的溫度通過傳遞到器械表面液體后也會變得不精確，相對一要素真空度而言，溫度補償必不可少，但對溫度精度不是很苛刻。所以干燥柜第二主要參數是器械表面液體的溫度。

　　參數三：無油

　　普通干燥柜為達到真空度往往使用的是有油真空泵，而有油真空泵容易出現回油，從而傷害醫療器械。即使是較好的過濾器也不能保證100%的過濾效果，更何況，工作一段時間后過濾器效果必然下降，過濾效果更不能保證。

　　特別說明：有油泵真空度略高于無油泵，干燥效果略好于無油泵，出于對器械的保護，推薦使用無油真空泵。